真空腔室Ф246×228mm,304優質不銹鋼
分子泵進口Pfeiffer分子泵
前級泵機械泵,北儀優成
真空規全量程真空規,上海玉川
濺射靶Ф2英寸永磁靶2支(含靶擋板)
濺射電源500W直流電源1臺,300W射頻電源1臺
流量計20sccm/50sccm進口WARWICK
控制系統PLC+觸摸屏智能控制系統1套
冷水機LX-300
前級閥GDC-25b電磁擋板閥1套
旁路閥GDC-25b電磁擋板閥1套
限流閥DN63mm一套
充氣閥Φ6mm,電磁截止閥1套
放氣閥Φ6mm,電磁截止閥1套
基片臺Ф100mm,高度:60~120mm可調,旋轉:0-20r/min可調,可加熱至300℃
膜厚監控儀進口Inficon SQM-160單水冷探頭,精度0.1?(選配)
真空管路波紋管、真空管道等1套
設備機架機電一體化
預留接口CF35法蘭一個
備件CF35銅墊圈及氟密封圈全套等
磁控濺射(Magnetron Sputtering)是一種常用的物相沉積(PVD)技術,廣泛應用于薄膜材料的制備。它主要利用高能離子轟擊靶材,使靶材原子或分子脫離并沉積到基材表面,形成薄膜。
磁控濺射的基本原理如下:
1. **離子源**:在氣體氬氣中產生等離子體,通常在真空條件下進行。通過施加電壓,氬氣原子被電離,形成帶正電的氬離子。
2. **靶材轟擊**:生成的氬離子被加速,轟擊靶材表面,使靶材上的原子以濺射的方式逸出。
3. **磁場的作用**:在靶材附近施加磁場,產生閉合的磁力線,這樣可以有效地延長離子的停留時間,增強了等離子體的密度,提高了濺射效率。
4. **薄膜沉積**:被濺射出來的靶材原子在真空中遷移,終沉積在基材表面,形成所需的薄膜。
磁控濺射技術具有許多優點,比如沉積速率高、膜層均勻性好、粘附性強等。此外,它還能夠沉積多種材料,包括金屬、合金、絕緣體和半導體等,因此在光電子、微電子、光學涂層等領域有著廣泛的應用。
磁控濺射鍍膜機是一種用于薄膜沉積的設備,廣泛應用于電子、光學、太陽能、LED等領域。其主要功能包括:
1. **薄膜沉積**:通過濺射技術,將靶材表面的原子或分子激發并沉積在基材表面,從而形成薄膜。可以沉積金屬、絕緣體和半導體等多種材料。
2. **膜層均勻性調控**:通過調整濺射參數(如氣體流量、功率、沉積時間等),可以控制薄膜的厚度和均勻性,滿足不同應用的要求。
3. **材料性質優化**:可以通過改變靶材的種類、沉積環境等方式,調節薄膜的物理和化學性質,如電導率、光學透過率等。
4. **多層膜沉積**:可以實現多層膜的交替沉積,滿足復雜器件的需求,比如光學濾光片、傳感器等。
5. **真空環境**:在真空條件下進行沉積,可以減少膜層缺陷,提高膜層的質量及其性能。
6. **可控厚度及成分**:通過控制濺射時間和功率,可以實現對膜層厚度及化學成分的準確調控,適用于應用需求。
7. **適應性強**:可以使用多種靶材和基材,廣泛應用于不同領域,包括電子器件、光電材料、裝飾性涂層等。
磁控濺射鍍膜機因其優越的沉積過程和膜層質量,在現代材料科學和工程中占有重要地位。

離子濺射儀是一種廣泛應用于材料科學、半導體制造和表面分析等領域的設備,其主要特點包括:
1. **高精度**:離子濺射儀能夠在原子或分子層級上進行物質的去除和沉積,具有的控制精度,適用于微米和納米級別的加工。
2. **多功能性**:該儀器可用于薄膜的沉積、表面清洗、材料分析等多種用途,適應性強。
3. **層次控制**:可以實現對材料沉積厚度的控制,可以逐層沉積不同材料,適合制備多層膜結構。
4. **較強的適應性**:離子源與靶材的組合可以根據需要進行調整,使得該儀器可以處理多種不同類型的材料。
5. **真空環境**:離子濺射在真空環境中進行,有助于減少氣體分子對沉積過程的干擾,提高沉積質量。
6. **可調節能量**:離子源可以調節離子的能量,從而控制濺射過程中的粒子能量,有利于改善沉積膜的性質。
7. **低溫沉積**:相較于傳統的熱沉積方法,離子濺射在較低溫度下即可進行,能夠減少熱敏感材料的損傷。
8. **表面改性**:通過選擇合適的離子種類和能量,可以對材料表面進行改性,如提高表面硬度或改變表面化學性質。
總的來說,離子濺射儀因其高精度、多功能和良好的適應性,在現代材料科學和工程中發揮著重要作用。

磁控濺射是一種廣泛應用于薄膜沉積的技術,主要用于在基材上沉積金屬、絕緣體或半導體材料。其功能和優勢包括:
1. **量薄膜**:磁控濺射能夠沉積出均勻、致密且質量優良的薄膜,適用于材料,包括金屬、合金和氧化物等。
2. **可控性強**:通過調節濺射參數(如氣壓、電源功率、磁場強度等),可以控制薄膜的厚度和性質。
3. **低溫沉積**:與其他沉積技術相比,磁控濺射通常可以在較低溫度下進行,這對于熱敏感材料尤為重要。
4. **多種材料的沉積**:可以在不同類型的基材上沉積材料,適用范圍很廣。
5. **高沉積速率**:由于利用了磁場增強離子化過程,磁控濺射的沉積速率通常較高,能夠提高生產效率。
6. **良好的附著力**:沉積的薄膜與基材之間具有良好的附著力,適合用于多種應用。
7. **均勻性和厚度控制**:可以實現大面積的均勻沉積,適用于需要大尺寸薄膜的應用。
磁控濺射廣泛應用于光電器件、太陽能電池、薄膜電路、保護涂層等領域。

PVD(物相沉積)鍍膜機是一種用于在基材表面沉積薄膜的設備。其主要功能包括:
1. **薄膜沉積**:通過物相沉積方法,PVD鍍膜機可以在基材表面沉積金屬、合金、氧化物、氮化物等薄膜材料,用于改善表面性能。
2. **表面改性**:通過鍍膜,可以提高基材的耐磨性、耐腐蝕性、抗氧化性等,延長材料的使用壽命。
3. **功能涂層**:PVD鍍膜可以賦予材料特定的功能,例如光學性能(反射、透射)、導電性能、熱導性等,適用于電子、光學等行業。
4. **裝飾效果**:在一些應用中,PVD鍍膜機可用于實現裝飾性涂層,提高產品的美觀性和附加值。
5. **薄膜**:PVD技術能夠在較低的溫度下沉積量的薄膜,適合用于一些熱敏材料的表面處理。
6. **環境友好**:相比于化學鍍膜方法,PVD過程通常不需要使用有毒化學物質,減小了對環境的影響。
7. **可控性強**:PVD鍍膜機可以控制膜厚、沉積速率等參數,實現高重復性和一致性的薄膜性能。
總之,PVD鍍膜機在現代制造業中發揮著重要作用,廣泛應用于電子、光學、汽車、等多個領域。
小型磁控濺射鍍膜機是一種常見的薄膜沉積設備,廣泛應用于多個領域。其適用范圍主要包括:
1. **材料科學**:用于研究新材料的特性和薄膜的性能,可以制備金屬、合金和合成材料的薄膜。
2. **電子器件**:在半導體、光電器件等領域,常用于制造電極、保護膜和介電層等。
3. **光學 coating**:用于光學元件的鍍膜,如鏡頭、光學濾光片、防反射涂層等。
4. **太陽能電池**:用于鍍膜太陽能電池的材料,提升其光電轉換效率。
5. **傳感器**:在傳感器的制造中用于沉積感應膜,提升其性能和穩定性。
6. **飾品與裝飾品**:用于金屬表面的裝飾性鍍膜,提高美觀及防腐蝕性能。
7. **生物醫學**:在生物材料和器械的表面改性中,改善表面特性,促進生物相容性。
8. **實驗室研究**:小型設備適合于科研實驗室進行材料合成與性質測試。
小型磁控濺射鍍膜機因其操作靈活、適用性廣泛,受到許多行業和科研機構的歡迎。
http://m.deafan.com.cn