真空腔室Ф246×228mm,304優質不銹鋼
分子泵進口Pfeiffer分子泵
前級泵機械泵,北儀優成
真空規全量程真空規,上海玉川
濺射靶Ф2英寸永磁靶2支(含靶擋板)
濺射電源500W直流電源1臺,300W射頻電源1臺
流量計20sccm/50sccm進口WARWICK
控制系統PLC+觸摸屏智能控制系統1套
冷水機LX-300
前級閥GDC-25b電磁擋板閥1套
旁路閥GDC-25b電磁擋板閥1套
限流閥DN63mm一套
充氣閥Φ6mm,電磁截止閥1套
放氣閥Φ6mm,電磁截止閥1套
基片臺Ф100mm,高度:60~120mm可調,旋轉:0-20r/min可調,可加熱至300℃
膜厚監控儀進口Inficon SQM-160單水冷探頭,精度0.1?(選配)
真空管路波紋管、真空管道等1套
設備機架機電一體化
預留接口CF35法蘭一個
備件CF35銅墊圈及氟密封圈全套等
離子濺射儀是一種用于材料表面分析和處理的儀器,廣泛應用于物理、材料科學、納米技術以及半導體制造等領域。其基本原理是通過離子束轟擊目標材料表面,導致該材料的原子或分子被濺射出來,從而可以進行成分分析、薄膜沉積或表面修飾等操作。
離子濺射儀的主要組成部分包括:
1. **離子源**:用于產生離子束,通常包括氣體源和加速電場。
2. **真空腔**:為了減少氣體分子對離子束的散射,實驗一般在高真空環境下進行。
3. **靶材**:待處理或分析的樣品,用于接受離子轟擊。
4. **探測器**:用于捕捉和分析濺射出來的粒子,以獲取樣品的成分信息。
離子濺射的特點包括高靈敏度、高分辨率和適用于材料的處理,是現代材料科學研究和工業應用中的工具。
靶材通常是在物理、化學和材料科學等領域中使用的一種材料,主要具有以下功能:
1. **靶向作用**:在粒子物理實驗中,靶材可用于吸收入射粒子并產生可觀測的反應,如在粒子加速器中用作靶。
2. **材料沉積**:在薄膜沉積技術中,靶材用于將材料蒸發或濺射到基底上,形成薄膜。這在電子器件、光學涂層等應用中重要。
3. **反應介質**:在化學反應中,靶材可以作為反應物,產生相應的化學反應或物理變化。
4. **能量傳輸**:靶材能夠接收入射粒子的能量并將其轉化為其他形式的能量,或以其他方式傳遞能量。
5. **示蹤和檢測**:在放射性同位素研究中,靶材可以用作示蹤劑,幫助檢測和分析現象。
總之,靶材在科學研究和工業應用中扮演著重要的角色,其具體功能根據應用場景的不同而有所差異。

桌面型磁控濺射鍍膜儀是一種用于薄膜沉積的設備,廣泛應用于半導體、光電、光學及材料科學等領域。以下是桌面型磁控濺射鍍膜儀的一些主要特點:
1. **緊湊設計**:桌面型設計占用空間小,適合實驗室環境,有利于提高實驗室的使用效率。
2. **高均勻性**:通過磁場增強濺射過程,提高薄膜的均勻性和致密性,能夠在較大面積上達到一致的膜厚。
3. **可控性**:支持控制沉積參數,如氣壓、濺射功率和沉積時間,便于實現不同材料和膜厚的調節。
4. **多種靶材選擇**:支持多種材料的靶材,能夠實現金屬、氧化物、氮化物等不同類型薄膜的沉積。
5. **低溫沉積**:相較于其他鍍膜技術,磁控濺射通常可在較低溫度下進行,有助于保護基材和改善膜的性能。
6. **清潔環境**:通常配備有真空系統,能夠在相對潔凈的環境下進行沉積,減少污染。
7. **自動化程度高**:一些型號支持自動化控制和監測,便于實驗操作和數據記錄,提高了實驗效率和重復性。
8. **易于維護**:桌面型設備結構相對簡單,便于日常維護和保養,降低了運行成本。
這些特點使得桌面型磁控濺射鍍膜儀在科研和工業應用中越來越受到歡迎。

樣品臺,通常用于實驗室、工業生產和研究等領域,具有以下幾個特點:
1. **穩定性**:樣品臺通常設計得穩定,以確保在進行實驗或觀察時,樣品受到外部震動或干擾的影響。
2. **調整功能**:許多樣品臺具有高度可調節性,允許用戶根據需要調整樣品的位置和角度,以便于觀察和測量。
3. **易清潔性**:樣品臺通常采用易于清洗的材料,能夠防止樣品的污染,同時在使用過程中保持衛生。
4. **多功能性**:某些樣品臺配備了不同的附件和配件,支持實驗需求,例如光學顯微鏡、測量儀器等。
5. **適應性強**:樣品臺的設計往往可以根據不同類型的樣品(如液體、固體、粉末等)進行調整,以適應不同的實驗需求。
6. **材料選用**:樣品臺通常采用耐腐蝕、耐高溫或其他特殊材料,以適應不同實驗環境。
7. **標記系統**:許多樣品臺上會有標記或者刻度,使用戶能夠定位樣品位置。
8. **光學性能**:在光學實驗中,樣品臺可能會考慮透光性和反射性,以確保觀測效果的清晰度。
這些特點使得樣品臺在不同領域的應用中顯得尤為重要,能夠提高實驗的性和效率。

磁控濺射鍍膜機是一種用于薄膜沉積的設備,廣泛應用于電子、光學、太陽能、LED等領域。其主要功能包括:
1. **薄膜沉積**:通過濺射技術,將靶材表面的原子或分子激發并沉積在基材表面,從而形成薄膜。可以沉積金屬、絕緣體和半導體等多種材料。
2. **膜層均勻性調控**:通過調整濺射參數(如氣體流量、功率、沉積時間等),可以控制薄膜的厚度和均勻性,滿足不同應用的要求。
3. **材料性質優化**:可以通過改變靶材的種類、沉積環境等方式,調節薄膜的物理和化學性質,如電導率、光學透過率等。
4. **多層膜沉積**:可以實現多層膜的交替沉積,滿足復雜器件的需求,比如光學濾光片、傳感器等。
5. **真空環境**:在真空條件下進行沉積,可以減少膜層缺陷,提高膜層的質量及其性能。
6. **可控厚度及成分**:通過控制濺射時間和功率,可以實現對膜層厚度及化學成分的準確調控,適用于應用需求。
7. **適應性強**:可以使用多種靶材和基材,廣泛應用于不同領域,包括電子器件、光電材料、裝飾性涂層等。
磁控濺射鍍膜機因其優越的沉積過程和膜層質量,在現代材料科學和工程中占有重要地位。
濺射靶(Sputter Gun)主要用于物相沉積(PVD)技術中的薄膜生長。其適用范圍包括但不限于以下幾個領域:
1. **半導體制造**:用于沉積金屬、氧化物等材料,以制作電子器件中的導電層和絕緣層。
2. **光學涂層**:在光學設備中應用,如鏡頭、濾光片等,增加其反射、透射或抗反射性能。
3. **太陽能電池**:用于沉積薄膜材料,以提高光電轉換效率。
4. **硬涂層**:在工具、機械零部件上沉積硬質涂層,提升耐磨性和耐腐蝕性。
5. **裝飾性涂層**:在產品表面沉積金屬或合成材料涂層,提升美觀和防護性能。
6. **磁記錄媒體**:用于制造磁盤和磁帶等數據存儲介質。
7. **生物醫學應用**:在器械及生物材料上沉積涂層,改善其生物相容性和性能。
濺射靶因其能夠沉積均勻、致密的薄膜,以及適用多種材料,廣泛應用于現代材料科學與工程領域。
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