溫度范圍零下180~550℃
變溫速度0~10℃/min,升降溫線性可控
溫度分辨率及穩定性± 0.1℃
控溫方式PID
溫度傳感器PT100
溫度傳感器數量2
致冷方式液氮(泵控制)
探針數量4(可增加)
探針材質紫銅鍍金
測試通道4
載樣臺材質及尺寸銀質,35*35mm(以實際尺寸為準)
冷熱臺尺寸160*150*29mm(以實際尺寸為準)
實驗環境可抽真空,可充入保護氣氛(氮氣),配水冷接口
探針座位移平臺是一種用于半導體、電子元件以及微機電系統(MEMS)等領域的精密測試和測量設備。它的主要功能是通過移動探針在樣品表面進行高精度的接觸和測試。以下是探針座位移平臺的一些關鍵特性和功能:
1. **高精度定位**:探針座位移平臺通常配備高分辨率的定位系統,可以實現微米級甚至納米級的位移控制。
2. **多軸運動**:大多數探針座位移平臺支持多軸運動(如X、Y、Z軸),以便在三維空間中靈活移動探針,實現復雜的測量任務。
3. **實時控制**:現代探針座位移平臺通常與計算機軟件相結合,可以實現實時的控制和數據采集,方便操作人員進行實時監測和調整。
4. **穩定性**:平臺的設計通常考慮到振動和熱變形等因素,以確保在長時間操作中的穩定性和重復性。
5. **自動化能力**:許多探針座位移平臺支持自動化操作,可以與自動測試設備結合,進行批量測試。
6. **應用廣泛**:探針座位移平臺廣泛應用于電氣測試、失效分析、材料特性評估等領域,能夠有效提高測量效率和準確性。
在選擇探針座位移平臺時,用戶需要考慮其技術參數、使用場景以及與現有設備的兼容性等因素。
探針臺卡盤(probe station chuck)是用于半導體測試和材料研究的重要設備,其特點包括:
1. **高精度**:探針臺卡盤通常具有高精度的定位能力,能夠確保探針與測試樣品之間的對接,從而提高測試的準確性。
2. **溫控能力**:許多探針臺卡盤配備有溫度控制系統,可以在升溫或降溫的情況下進行測試,幫助研究人員觀察材料在不同溫度下的性能變化。
3. **真空功能**:某些探針臺卡盤具有真空夾緊功能,可以確保樣品在測試過程中固定穩定,減少外部干擾。
4. **兼容性強**:探針臺卡盤通常設計為兼容多種類型的測試探針和測試儀器,方便用戶進行不同類型的實驗。
5. **靈活性**:探針臺卡盤可以適應不同尺寸和形狀的樣品,提供多種夾持方式,以滿足不同測試需求。
6. **性能**:針對信號測試的需求,一些探針臺卡盤具備良好的性能,能夠有效降低信號衰減和反射。
7. **用戶友好的操作界面**:現代探針臺常配備直觀的控制系統,便于用戶對設備進行調整和設置。
8. **耐用性**:探針臺卡盤通常采用量材料制造,以確保設備的耐久性和穩定性,在復雜環境下也能長期使用。
綜合以上特點,探針臺卡盤在半導體測試、材料研究等領域中扮演著關鍵角色,極大地推動了相關技術的發展。

探針座位移平臺是一種用于電子測試和測量的設備,主要功能包括:
1. **定位**:能夠地移動探針到*的測試點,確保測量的準確性。
2. **多軸控制**:通常具有多個自由度(如X、Y、Z軸),可以在三維空間中靈活移動,以適應不同尺寸和布局的測試樣品。
3. **自動化測試**:支持自動化操作,提高測試效率,減少人為誤差。
4. **掃描功能**:可以進行掃描操作,逐點測量,以獲取樣品的電性能數據。
5. **與測試儀器集成**:可與測試儀器(如示波器、LCR表等)連接,進行綜合測試與數據分析。
6. **數據記錄與分析**:記錄測試過程中的數據,并可進行后續分析,以便于評估樣品性能。
7. **靈活適應性**:可根據不同的測試需求和樣品特性,調整探針的位置和壓力,以確保接觸。
探針座位移平臺在半導體、微電子、材料科學等領域的測試和研究中具有重要的應用價值。

探針夾具是一種用于電子測量和測試的工具,廣泛應用于半導體行業、電子元件測試和電路板維修等領域。它的主要特點包括:
1. **性**:探針夾具能夠以極高的精度對接觸點施加壓力,以確保可靠的電氣接觸,從而提高測試數據的準確性。
2. **多功能性**:不同類型的探針夾具可以適配測試需求,包括不同類型的探針和接觸方式,滿足不同的測試標準。
3. **可靠性**:的設計和材料選擇使得探針夾具在多次使用中保持穩定的性能,降低故障率,提高測試的可靠性。
4. **靈活性**:探針夾具通常具有可調節的結構,可以適應不同尺寸和形狀的被測物體,增強了使用的靈活性。
5. **易于操作**:設計時考慮到人機工程學,使得操作者能夠方便地進行裝配、調節和操作,減少了使用時的復雜性。
6. **兼容性**:探針夾具可以與多種測試設備(如示波器、萬用表等)兼容使用,提升測試系統的集成度。
7. **耐用性**:量的材料和精密的制造工藝確保了探針夾具的耐用性,在率使用的環境下仍能保持良好的性能。
8. **熱穩定性**:一些探針夾具設計考慮到了熱膨脹的影響,保證在溫度變化下仍能提供穩定的測試性能。
總之,探針夾具在電子測試和測量中扮演著重要角色,通過其優良的設計和性能特征,能夠顯著提高測試效率和可靠性。

真空探針臺是一種用于微電子和材料科學領域的高精度測試設備,主要用于對半導體wafer、材料樣品的電氣特性進行測量。其特點主要包括:
1. **高真空環境**:真空探針臺能夠在高真空條件下工作,減少氣體分子對測試過程的干擾,提高測量的準確性和重復性。
2. **高精度定位**:該設備通常配備高精度的定位系統,可以對準探針與樣品的接觸點,確保測量的準確性。
3. **多樣化探針選擇**:真空探針臺支持多種類型的探針,可根據不同的實驗需求進行更換,適應不同的測試任務。
4. **溫度控制功能**:許多真空探針臺配備了溫度控制系統,能夠在特定溫度下進行測量,對于研究材料的溫度依賴特性尤為重要。
5. **高靈敏度測量**:在真空條件下,探針臺能夠進行更高靈敏度的電氣測量,適合于低信號的測量任務。
6. **兼容性強**:真空探針臺通常可以與多種測試設備協同使用,如網絡分析儀、示波器等,滿足多種測試需求。
7. **自動化程度**:現代真空探針臺往往具備自動化控制系統,能夠實現自動對焦、掃描和數據采集,提高實驗效率。
8. **適用范圍廣泛**:真空探針臺不僅可用于半導體行業,還可廣泛應用于材料測試、納米技術、生物傳感器等多個領域。
總體而言,真空探針臺是進行精細化電氣測試的重要工具,其特性使其在科研和工業應用中具有的地位。
光學探針臺是一種精密測量和表征材料及器件的設備,廣泛應用于多個領域。其適用范圍主要包括:
1. **半導體行業**:用于測試和表征半導體材料和器件的光學特性,例如光電流、發光特性和光譜響應等。
2. **材料科學**:用于研究材料(如納米材料、薄膜等)的光學性質,包括反射、折射、吸收和散射等。
3. **生物醫學**:用于生物樣品的光學成像、熒光檢測和細胞分析等,幫助研究細胞行為和生物反應。
4. **光電子學**:用于開發和測試光電子器件(如激光器、光探測器等)的性能,評估它們在不同波長下的響應。
5. **光學學研究**:用于基礎光學實驗和高精度測量,研究光的傳播、干涉、衍射等現象。
6. **照明工程**:用于分析光源的光譜特性和光分布,以優化照明設計。
光學探針臺通過其高精度和高穩定性,能夠為上述領域的研究和開發提供重要支持。
http://m.deafan.com.cn