溫度范圍零下180~550℃
變溫速度0~10℃/min,升降溫線性可控
溫度分辨率及穩(wěn)定性± 0.1℃
控溫方式PID
溫度傳感器PT100
溫度傳感器數(shù)量2
致冷方式液氮(泵控制)
探針數(shù)量4(可增加)
探針材質(zhì)紫銅鍍金
測試通道4
載樣臺材質(zhì)及尺寸銀質(zhì),35*35mm(以實際尺寸為準(zhǔn))
冷熱臺尺寸160*150*29mm(以實際尺寸為準(zhǔn))
實驗環(huán)境可抽真空,可充入保護氣氛(氮氣),配水冷接口
探針臺卡盤(Prober Chuck)是一種用于半導(dǎo)體測試和研究的設(shè)備,主要應(yīng)用于晶圓探針測試(wafer probing)過程中。其功能是將待測試的晶圓或芯片固定在穩(wěn)定的位置,以便進行電氣性能測試和測量。
探針臺卡盤的設(shè)計通常考慮到以下幾個方面:
1. **固定能力**:卡盤需要能夠牢固固定不同尺寸和形狀的晶圓,防止在測試過程中發(fā)生移動。
2. **熱管理**:在測試過程中,卡盤可能會發(fā)熱,因此其材料和設(shè)計需具備良好的熱導(dǎo)性,以避免影響測試結(jié)果。
3. **平面度**:確保卡盤的表面平整,以便與探針對接,減少接觸不良的可能性。
4. **兼容性**:許多卡盤都是設(shè)計為與探針臺(prober)和測試設(shè)備兼容,便于集成使用。
5. **微調(diào)功能**:一些的探針臺卡盤具備微調(diào)功能,可通過機械或電動方式微調(diào)晶圓的位置,以達到的探針接觸效果。
探針臺卡盤在集成電路(IC)制造、半導(dǎo)體器件測試以及材料科學(xué)研究等領(lǐng)域廣泛應(yīng)用。
高低溫真空探針臺是一種用于材料和半導(dǎo)體器件測試的精密設(shè)備,其特點包括:
1. **溫度范圍廣**:能夠在極低溫(例如液氮溫度)到高溫(例如700℃以上)之間進行測試,適用于不同材料和器件的特性分析。
2. **真空環(huán)境**:提供高真空或真空環(huán)境,減少氧化和污染,提高測試數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性和重復(fù)性。
3. **高精度探針**:配備高精度的探針,可以對微小區(qū)域進行測量,適用于微電子器件和納米材料的測試。
4. **自動化設(shè)置**:許多高低溫真空探針臺配備自動化控制系統(tǒng),可以實現(xiàn)溫度和壓力的準(zhǔn)確控制,提高測試效率。
5. **多功能性**:支持多種測試方法,如電學(xué)測試、熱學(xué)測試、光學(xué)測試等,適用于不同類型的材料和器件。
6. **良好的熱管理**:采用的熱傳導(dǎo)和絕熱技術(shù),確保在高低溫環(huán)境中設(shè)備的穩(wěn)定性和測試的可靠性。
7. **數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)**:配備的數(shù)據(jù)采集和分析系統(tǒng),能夠?qū)崟r監(jiān)控和記錄測試數(shù)據(jù),方便后續(xù)分析。
8. **模組化設(shè)計**:很多探針臺采用模組化設(shè)計,用戶可以根據(jù)需要更換不同的探針或附件,提高設(shè)備的靈活性。
這些特點使得高低溫真空探針臺在材料科學(xué)、半導(dǎo)體研發(fā)及微電子器件測試等領(lǐng)域中被廣泛應(yīng)用。

微型高低溫真空探針臺是一種用于電子材料和器件測試的精密儀器,具備以下幾個主要特點:
1. **高低溫測試能力**:能夠在極低溫(如液氮溫度)到高溫(如400°C以上)范圍內(nèi)進行測試,適用于不同溫度環(huán)境下的材料性能研究。
2. **真空環(huán)境**:探針臺設(shè)計用于在高真空條件下操作,減少氧化和污染,確保測試結(jié)果的準(zhǔn)確性和重復(fù)性。
3. **高精度探測**:配備高精度的探針和測量系統(tǒng),能夠準(zhǔn)確獲取微小電流、電壓等信號,適用于微小尺度器件的電測量。
4. **微型化設(shè)計**:體積小巧,便于在有限空間內(nèi)進行操作,適合于微電子器件、納米材料等研究。
5. **靈活的樣品裝配**:通常具有友好的樣品夾具設(shè)計,便于不同類型和尺寸的樣品裝配和更換。
6. **多功能性**:可能支持多種測試模式,如直流測試、交流測試、霍爾效應(yīng)測試等,適用范圍廣。
7. **易于連接**:可與其他測試設(shè)備(如示波器、信號發(fā)生器等)快速連接,便于進行綜合測試。
總之,微型高低溫真空探針臺在材料科學(xué)、半導(dǎo)體研究和納米技術(shù)等領(lǐng)域中具有重要的應(yīng)用價值。

探針夾具是一種用于電子測試和信號測量的設(shè)備,它的主要功能包括:
1. **信號接觸**:探針夾具可以地與電路板上的測試點接觸,從而獲取信號或電源。這對于電路功能測試和調(diào)試至關(guān)重要。
2. **高精度定位**:探針夾具通常具有高精度的定位功能,可以確保探針準(zhǔn)確接觸到*的測試點,提高測試的可靠性和準(zhǔn)確性。
3. **自動化測試**:隨著自動化測試技術(shù)的發(fā)展,探針夾具常常與自動測試設(shè)備(ATE)配合使用,實現(xiàn)的自動化測試,提高測試效率和一致性。
4. **適應(yīng)性強**:探針夾具通常設(shè)計為可以適應(yīng)不同規(guī)格的PCB(印刷電路板),支持多種類型的測試點,如焊盤、引腳等。
5. **減少干擾**:良好的探針夾具設(shè)計可以減少在測試過程中可能引入的干擾,提高測量的準(zhǔn)確性。
6. **多通道測試**:一些的探針夾具可以支持多通道同時測試,提高測試的效率,特別是在批量生產(chǎn)測試中具有明顯的優(yōu)勢。
總的來說,探針夾具在電子產(chǎn)品的研發(fā)、測試和生產(chǎn)過程中起到了重要的作用,能夠有效提高測試的效率和準(zhǔn)確性。

探針臺卡盤(probe station chuck)是用于半導(dǎo)體測試和材料研究的重要設(shè)備,其特點包括:
1. **高精度**:探針臺卡盤通常具有高精度的定位能力,能夠確保探針與測試樣品之間的對接,從而提高測試的準(zhǔn)確性。
2. **溫控能力**:許多探針臺卡盤配備有溫度控制系統(tǒng),可以在升溫或降溫的情況下進行測試,幫助研究人員觀察材料在不同溫度下的性能變化。
3. **真空功能**:某些探針臺卡盤具有真空夾緊功能,可以確保樣品在測試過程中固定穩(wěn)定,減少外部干擾。
4. **兼容性強**:探針臺卡盤通常設(shè)計為兼容多種類型的測試探針和測試儀器,方便用戶進行不同類型的實驗。
5. **靈活性**:探針臺卡盤可以適應(yīng)不同尺寸和形狀的樣品,提供多種夾持方式,以滿足不同測試需求。
6. **性能**:針對信號測試的需求,一些探針臺卡盤具備良好的性能,能夠有效降低信號衰減和反射。
7. **用戶友好的操作界面**:現(xiàn)代探針臺常配備直觀的控制系統(tǒng),便于用戶對設(shè)備進行調(diào)整和設(shè)置。
8. **耐用性**:探針臺卡盤通常采用量材料制造,以確保設(shè)備的耐久性和穩(wěn)定性,在復(fù)雜環(huán)境下也能長期使用。
綜合以上特點,探針臺卡盤在半導(dǎo)體測試、材料研究等領(lǐng)域中扮演著關(guān)鍵角色,極大地推動了相關(guān)技術(shù)的發(fā)展。
同軸真空饋通件廣泛應(yīng)用于許多領(lǐng)域,主要包括:
1. **微波通信**:在衛(wèi)星通信、無線傳輸?shù)阮I(lǐng)域中,用于傳輸信號。
2. **射頻功率放大**:在射頻(RF)放大器中,幫助傳輸和采集高功率信號。
3. **天線系統(tǒng)**:在天線和發(fā)射器中,用于信號傳輸。
4. **高能物理實驗**:在粒子加速器等實驗設(shè)備中,用于傳輸信號。
5. **實驗室設(shè)備**:在實驗室中用于設(shè)備的連接和信號傳輸。
6. **系統(tǒng)**:用于和民用系統(tǒng)中進行信號傳遞。
7. **設(shè)備**:在某些醫(yī)學(xué)成像和設(shè)備中也會用到。
同軸真空饋通件的設(shè)計需要考慮頻率范圍、功率處理能力、插入損耗以及物理尺寸等因素,以確保其在特定應(yīng)用中的性能和可靠性。
http://m.deafan.com.cn