真空腔室Ф246×228mm,304優質不銹鋼
分子泵進口Pfeiffer分子泵
前級泵機械泵,北儀優成
真空規全量程真空規,上海玉川
濺射靶Ф2英寸永磁靶2支(含靶擋板)
濺射電源500W直流電源1臺,300W射頻電源1臺
流量計20sccm/50sccm進口WARWICK
控制系統PLC+觸摸屏智能控制系統1套
冷水機LX-300
前級閥GDC-25b電磁擋板閥1套
旁路閥GDC-25b電磁擋板閥1套
限流閥DN63mm一套
充氣閥Φ6mm,電磁截止閥1套
放氣閥Φ6mm,電磁截止閥1套
基片臺Ф100mm,高度:60~120mm可調,旋轉:0-20r/min可調,可加熱至300℃
膜厚監控儀進口Inficon SQM-160單水冷探頭,精度0.1?(選配)
真空管路波紋管、真空管道等1套
設備機架機電一體化
預留接口CF35法蘭一個
備件CF35銅墊圈及氟密封圈全套等
磁控濺射鍍膜機是一種廣泛應用于薄膜沉積技術的設備,其主要用于在基材上沉積薄膜材料。它利用磁控濺射原理,通過在真空環境中將靶材(通常是金屬或合金)軋制成氣體,進而形成薄膜。
### 磁控濺射的基本原理:
1. **真空環境**:設備內部通常處于真空狀態,以減少氣體分子的干擾,提高沉積質量。
2. **氣體引入**:引入惰性氣體(如氬氣),在高電壓作用下,氣體被電離,形成等離子體。
3. **靶材轟擊**:等離子體中的離子會加速并轟擊靶材,使其表面原子被濺射出來,形成氣相物質。
4. **薄膜沉積**:被濺射出來的原子在基材表面冷卻凝結,形成薄膜。
### 磁控濺射的優點:
- **均勻性好**:能夠在大面積基材上較均勻地沉積薄膜。
- **量膜**:沉積的薄膜通常具有良好的結晶性和密度。
- **適應性強**:可以沉積多種材料,包括金屬、氧化物、氮化物等。
### 應用領域:
- 電子器件的制造(如半導體、光電器件)。
- 光學鍍膜(如反射鏡、抗反射膜)。
- 功能涂層(如耐磨、抗腐蝕涂層)。
磁控濺射鍍膜機的技術發展不斷進步,尤其是在提高沉積速率、膜質量及設備自動化程度等方面。
濺射靶是一種用于薄膜沉積技術的設備,廣泛應用于物理、材料科學和半導體工業。其主要功能包括:
1. **物質沉積**:通過濺射技術將靶材(如金屬、合金或氧化物)中的原子或分子打出,并在基材表面形成薄膜。
2. **薄膜均勻性**:濺射靶能夠在較大的面積上實現均勻的薄膜沉積,這對許多應用至關重要。
3. **控制膜厚度**:通過調整濺射時間、功率和氣氛等參數,可以控制沉積膜的厚度。
4. **材料多樣性**:能夠處理多種不同類型的靶材,適用于不同的應用需求。
5. **低溫沉積**:濺射過程通常在較低溫度下進行,因此適合一些熱敏材料的沉積。
6. **量膜**:濺射技術可制作高致密性、低缺陷的薄膜,適合高性能電子元件和光電器件等。
7. **大面積沉積**:有些濺射靶可以實現大面積的一次性沉積,適合工業化生產。
8. **功能薄膜制備**:可以用于制備功能性薄膜,如透明導電氧化物(TCO)、磁性薄膜及其他材料。
濺射靶的技術進步與材料科學的發展密切相關,對推動新材料的研究和應用起到了重要作用。

磁控濺射鍍膜機是一種用于薄膜沉積的設備,廣泛應用于電子、光學、太陽能、LED等領域。其主要功能包括:
1. **薄膜沉積**:通過濺射技術,將靶材表面的原子或分子激發并沉積在基材表面,從而形成薄膜。可以沉積金屬、絕緣體和半導體等多種材料。
2. **膜層均勻性調控**:通過調整濺射參數(如氣體流量、功率、沉積時間等),可以控制薄膜的厚度和均勻性,滿足不同應用的要求。
3. **材料性質優化**:可以通過改變靶材的種類、沉積環境等方式,調節薄膜的物理和化學性質,如電導率、光學透過率等。
4. **多層膜沉積**:可以實現多層膜的交替沉積,滿足復雜器件的需求,比如光學濾光片、傳感器等。
5. **真空環境**:在真空條件下進行沉積,可以減少膜層缺陷,提高膜層的質量及其性能。
6. **可控厚度及成分**:通過控制濺射時間和功率,可以實現對膜層厚度及化學成分的準確調控,適用于應用需求。
7. **適應性強**:可以使用多種靶材和基材,廣泛應用于不同領域,包括電子器件、光電材料、裝飾性涂層等。
磁控濺射鍍膜機因其優越的沉積過程和膜層質量,在現代材料科學和工程中占有重要地位。

PVD(物相沉積)鍍膜機是一種用于在基材表面沉積薄膜的設備,廣泛應用于電子、光學、工具制造和裝飾等領域。其主要特點包括:
1. **薄膜質量高**:PVD工藝能夠在較低的溫度下沉積量、高致密度的薄膜,具有良好的附著力和均勻性。
2. **材料多樣性**:PVD技術可以鍍金屬、合金和陶瓷材料,能夠滿足不同應用需求。
3. **環保性**:PVD過程通常不涉及有害化學物質,相比于化學氣相沉積(CVD)等工藝更為環保。
4. **沉積速率可調**:通過調整工藝參數,可以控制薄膜的沉積速率,從而滿足不同應用的需求。
5. **設備占用空間小**:PVD鍍膜機相對較小,適合在空間有限的環境中使用。
6. **自動化程度高**:現代PVD設備通常具有較高的自動化水平,可以實現連續生產,提高生產效率。
7. **良好的耐磨性和耐腐蝕性**:沉積的薄膜通常具有的耐磨性和耐腐蝕性,適用于工業應用。
8. **適應性強**:可以處理不同形狀和尺寸的基材,從小型零件到大型工件均可適應。
這些特點使得PVD鍍膜機在多個領域得以廣泛應用,并逐漸成為現代材料表面處理的重要設備。

PVD(物相沉積)鍍膜機是一種用于在基材表面沉積薄膜的設備。其主要功能包括:
1. **薄膜沉積**:通過物相沉積方法,PVD鍍膜機可以在基材表面沉積金屬、合金、氧化物、氮化物等薄膜材料,用于改善表面性能。
2. **表面改性**:通過鍍膜,可以提高基材的耐磨性、耐腐蝕性、抗氧化性等,延長材料的使用壽命。
3. **功能涂層**:PVD鍍膜可以賦予材料特定的功能,例如光學性能(反射、透射)、導電性能、熱導性等,適用于電子、光學等行業。
4. **裝飾效果**:在一些應用中,PVD鍍膜機可用于實現裝飾性涂層,提高產品的美觀性和附加值。
5. **薄膜**:PVD技術能夠在較低的溫度下沉積量的薄膜,適合用于一些熱敏材料的表面處理。
6. **環境友好**:相比于化學鍍膜方法,PVD過程通常不需要使用有毒化學物質,減小了對環境的影響。
7. **可控性強**:PVD鍍膜機可以控制膜厚、沉積速率等參數,實現高重復性和一致性的薄膜性能。
總之,PVD鍍膜機在現代制造業中發揮著重要作用,廣泛應用于電子、光學、汽車、等多個領域。
樣品臺是一種用于放置和支撐樣品的實驗設備,廣泛應用于多個領域。以下是樣品臺的主要適用范圍:
1. **生物醫學研究**:在顯微鏡下觀察細胞、組織切片和其他生物樣品。
2. **材料科學**:用于測試金屬、聚合物、陶瓷等材料的物理和化學性質。
3. **化學分析**:在化學實驗中放置反應瓶、試劑和其他化學物質。
4. **電子顯微鏡**:在電子顯微鏡中支撐和固定樣品,以便進行高分辨率觀察。
5. **光學顯微鏡**:在光學顯微鏡中觀察細小結構、顆粒和晶體等。
6. **工業檢測**:用于質量控制和檢測產品樣品,如電子元件、機械零件等。
不同類型的樣品臺(如移動樣品臺、平面樣品臺等)可以根據具體需求進行選擇,以滿足不同實驗或檢測的需求。
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