溫度范圍零下180~550℃
變溫速度0~10℃/min,升降溫線性可控
溫度分辨率及穩定性± 0.1℃
控溫方式PID
溫度傳感器PT100
溫度傳感器數量2
致冷方式液氮(泵控制)
探針數量4(可增加)
探針材質紫銅鍍金
測試通道4
載樣臺材質及尺寸銀質,35*35mm(以實際尺寸為準)
冷熱臺尺寸160*150*29mm(以實際尺寸為準)
實驗環境可抽真空,可充入保護氣氛(氮氣),配水冷接口
高低溫真空探針臺是一種用于半導體器件測試和研究的設備,它可以在高溫或低溫環境下進行測量,同時具備真空操作的功能。這種設備通常用于材料科學、電子學、物理學等領域,特別是在半導體、納米材料和器件特性測試方面。
高低溫真空探針臺的主要功能和特點包括:
1. **溫度控制**:能夠將測試樣品的溫度控制在很廣泛的范圍內,通常從液氮溫度(約-196℃)到幾百攝氏度的高溫。
2. **真空環境**:設備能夠在真空條件下工作,減少氣體對測試結果的影響,從而提高測量的度。
3. **電氣測量**:探針臺配備有精密的探針,可以對樣品進行電氣測量,例如測量電流、電壓和電阻等參數。
4. **樣品對接**:探針臺通常設計有靈活的樣品支架,能夠適應不同形狀和尺寸的樣品。
5. **自動化和數據采集**:許多現代探針臺配備計算機控制系統,可以實現自動測量和數據采集,提高測試的效率和 reproducibility(可重復性)。
高低溫真空探針臺廣泛應用于研究和開發新型電子器件、材料特性分析以及故障分析等領域。它們在電子和光電行業的研發中扮演著重要角色。
真空探針臺是一種用于微電子和材料科學領域的高精度測試設備,主要用于對半導體wafer、材料樣品的電氣特性進行測量。其特點主要包括:
1. **高真空環境**:真空探針臺能夠在高真空條件下工作,減少氣體分子對測試過程的干擾,提高測量的準確性和重復性。
2. **高精度定位**:該設備通常配備高精度的定位系統,可以對準探針與樣品的接觸點,確保測量的準確性。
3. **多樣化探針選擇**:真空探針臺支持多種類型的探針,可根據不同的實驗需求進行更換,適應不同的測試任務。
4. **溫度控制功能**:許多真空探針臺配備了溫度控制系統,能夠在特定溫度下進行測量,對于研究材料的溫度依賴特性尤為重要。
5. **高靈敏度測量**:在真空條件下,探針臺能夠進行更高靈敏度的電氣測量,適合于低信號的測量任務。
6. **兼容性強**:真空探針臺通??梢耘c多種測試設備協同使用,如網絡分析儀、示波器等,滿足多種測試需求。
7. **自動化程度**:現代真空探針臺往往具備自動化控制系統,能夠實現自動對焦、掃描和數據采集,提高實驗效率。
8. **適用范圍廣泛**:真空探針臺不僅可用于半導體行業,還可廣泛應用于材料測試、納米技術、生物傳感器等多個領域。
總體而言,真空探針臺是進行精細化電氣測試的重要工具,其特性使其在科研和工業應用中具有的地位。

探針座位移平臺是一種用于電子測試和測量的設備,主要功能包括:
1. **定位**:能夠地移動探針到*的測試點,確保測量的準確性。
2. **多軸控制**:通常具有多個自由度(如X、Y、Z軸),可以在三維空間中靈活移動,以適應不同尺寸和布局的測試樣品。
3. **自動化測試**:支持自動化操作,提高測試效率,減少人為誤差。
4. **掃描功能**:可以進行掃描操作,逐點測量,以獲取樣品的電性能數據。
5. **與測試儀器集成**:可與測試儀器(如示波器、LCR表等)連接,進行綜合測試與數據分析。
6. **數據記錄與分析**:記錄測試過程中的數據,并可進行后續分析,以便于評估樣品性能。
7. **靈活適應性**:可根據不同的測試需求和樣品特性,調整探針的位置和壓力,以確保接觸。
探針座位移平臺在半導體、微電子、材料科學等領域的測試和研究中具有重要的應用價值。

探針夾具是一種用于電子測試和信號測量的設備,它的主要功能包括:
1. **信號接觸**:探針夾具可以地與電路板上的測試點接觸,從而獲取信號或電源。這對于電路功能測試和調試至關重要。
2. **高精度定位**:探針夾具通常具有高精度的定位功能,可以確保探針準確接觸到*的測試點,提高測試的可靠性和準確性。
3. **自動化測試**:隨著自動化測試技術的發展,探針夾具常常與自動測試設備(ATE)配合使用,實現的自動化測試,提高測試效率和一致性。
4. **適應性強**:探針夾具通常設計為可以適應不同規格的PCB(印刷電路板),支持多種類型的測試點,如焊盤、引腳等。
5. **減少干擾**:良好的探針夾具設計可以減少在測試過程中可能引入的干擾,提高測量的準確性。
6. **多通道測試**:一些的探針夾具可以支持多通道同時測試,提高測試的效率,特別是在批量生產測試中具有明顯的優勢。
總的來說,探針夾具在電子產品的研發、測試和生產過程中起到了重要的作用,能夠有效提高測試的效率和準確性。

探針臺(Probe Station)是一種用于半導體和微電子測試的設備,主要用于在實驗室環境中對芯片或材料進行電學性能測試。它的主要功能包括:
1. **電氣測試**:探針臺配備有探針,可以直接接觸到芯片上的電氣接點,進行電性能測試,比如電流、電壓、阻抗等。
2. **溫度控制**:許多探針臺具有溫度控制功能,可以在高溫或低溫下進行測試,以評估材料或器件在不同溫度下的特性。
3. **真空環境**:某些探針臺可以在真空環境下操作,以減少空氣對測試結果的影響,尤其是在某些敏感實驗中。
4. **圖像捕捉與分析**:探針臺通常配備有顯微鏡,可以對芯片進行觀察,幫助技術人員準確定位探針和分析測試結果。
5. **自動化測試**:一些探針臺能夠與計算機系統配合,實現自動化操作和數據采集,提高測試效率和準確性。
6. **多功能擴展**:探針臺可以與其他設備(如信號發生器、示波器等)聯動,進行更復雜的電氣測試和分析。
探針臺廣泛應用于半導體制造、材料科學、電子工程等領域,是研究和開發新型電子元件的重要工具。
真空探針臺是一種用于半導體、微電子和納米技術等領域的高精度測試設備,適用于以下幾個方面:
1. **半導體測試**:用于對集成電路(IC)、功率器件、傳感器等半導體器件進行電性能測試,包括IV曲線測量、CV特性測試等。
2. **材料科學**:用于研究和測試薄膜材料、納米材料等在不同環境下的電學特性。
3. **微機電系統(MEMS)**:對MEMS器件進行電氣測試和性能評估,尤其是在真空環境下進行的測試。
4. **封裝測試**:用于對芯片封裝后進行的性能測試,確保封裝過程影響芯片性能。
5. **研發和實驗室應用**:研究機構和高??梢岳谜婵仗结樑_進行實驗室研究,進行新材料和器件的開發。
6. **測試**:一些應用中,真空環境可以減少信號衰減和噪聲,適合微波器件和電路的測試。
真空探針臺能夠提供穩定的測試環境和高精度的測量,有助于研究人員和工程師獲取準確的數據和結果。
http://m.deafan.com.cn