溫度范圍零下180~550℃
變溫速度0~10℃/min,升降溫線性可控
溫度分辨率及穩定性± 0.1℃
控溫方式PID
溫度傳感器PT100
溫度傳感器數量2
致冷方式液氮(泵控制)
探針數量4(可增加)
探針材質紫銅鍍金
測試通道4
載樣臺材質及尺寸銀質,35*35mm(以實際尺寸為準)
冷熱臺尺寸160*150*29mm(以實際尺寸為準)
實驗環境可抽真空,可充入保護氣氛(氮氣),配水冷接口
探針臺卡盤(Prober Chuck)是一種用于半導體測試和研究的設備,主要應用于晶圓探針測試(wafer probing)過程中。其功能是將待測試的晶圓或芯片固定在穩定的位置,以便進行電氣性能測試和測量。
探針臺卡盤的設計通??紤]到以下幾個方面:
1. **固定能力**:卡盤需要能夠牢固固定不同尺寸和形狀的晶圓,防止在測試過程中發生移動。
2. **熱管理**:在測試過程中,卡盤可能會發熱,因此其材料和設計需具備良好的熱導性,以避免影響測試結果。
3. **平面度**:確??ūP的表面平整,以便與探針對接,減少接觸不良的可能性。
4. **兼容性**:許多卡盤都是設計為與探針臺(prober)和測試設備兼容,便于集成使用。
5. **微調功能**:一些的探針臺卡盤具備微調功能,可通過機械或電動方式微調晶圓的位置,以達到的探針接觸效果。
探針臺卡盤在集成電路(IC)制造、半導體器件測試以及材料科學研究等領域廣泛應用。
同軸真空饋通件是一種用于電子設備的連接器,主要用于在真空環境中傳輸信號。其特點包括:
1. **優良的信號傳輸性能**:同軸結構能夠有效地減少信號的損耗和反射,保證信號的質量。
2. **良好的屏蔽性能**:同軸設計可提供較好的電磁干擾屏蔽,防止外部干擾信號影響傳輸質量。
3. **耐高真空特性**:專門設計用于在真空環境中工作,不易受到氣體和水分的影響,適用于真空設備,如粒子加速器和真空腔等。
4. **高功率承受能力**:能夠承受較高的功率水平,適合用于高功率射頻應用。
5. **機械穩定性**:結構堅固,能夠經受一定的機械應力和溫度變化。
6. **便于安裝和維護**:設計通??紤]到易于安裝和維護,便于與其他設備連接。
7. **多種接口類型**:可根據需要提供不同類型的連接器接口,以適應應用場景。
以上這些特點使得同軸真空饋通件在通信、射頻設備及實驗物理等領域具有廣泛的應用前景。

光學探針臺是一種高精度的實驗設備,主要用于表征材料的光學性能和研究微觀結構。以下是光學探針臺的主要特點:
1. **高精度定位**:光學探針臺通常具備高精度的運動系統,能夠在微米或納米級別上進行樣品定位,以確保實驗結果的準確性。
2. **多功能性**:很多光學探針臺可以支持多種測量方法,如反射、透射、熒光及拉曼光譜等,適用于不同的研究需求。
3. **環境控制**:有些光學探針臺配備有溫度、濕度、氣氛等環境控制系統,能夠在特定條件下進行實驗,適應不同材料的測試要求。
4. **光學元件的集成**:探針臺通常集成有高性能的光學元件,如透鏡、濾光片和光源等,以提高光學測量的靈敏度和信噪比。
5. **圖像采集與分析**:許多光學探針臺具有圖像采集功能,可以實時觀察樣品表面、形貌及其他特征,并與測量數據結合進行分析。
6. **模塊化設計**:一些探針臺是模塊化的,可以根據實驗需要進行升級和擴展,適應不同的研究需求。
7. **用戶友好的操作界面**:現代的光學探針臺通常配備友好的軟件界面,使得用戶可以輕松設置實驗參數,進行數據采集和分析。
8. **適用性廣**:廣泛應用于半導體、材料科學、生物醫學等領域,在基礎研究和工業應用中都具有重要價值。
光學探針臺因其高度和多功能性,被廣泛用于科研與工業領域的光學測量與分析任務。

探針臺(Probe Station)是一種用于測試和分析微電子器件(如集成電路、傳感器等)的設備。其主要特點包括:
1. **高精度定位**:探針臺能夠定位待測樣品,通常配備精密機械手臂和高分辨率的光學顯微鏡。
2. **多樣化探針**:探針臺配備多種探針,可以用于不同類型的測試,如直流、交流或測試。
3. **溫控能力**:許多探針臺具備溫度控制功能,可以在極低或極高的溫度條件下進行測試,以模擬實際工作環境。
4. **可擴展性**:探針臺通??梢耘c其他測試設備(如示波器、信號發生器)進行連接,實現更復雜的測試方案。
5. **軟件控制**:現代探針臺配備了計算機控制系統,可以通過軟件進行操作,實時收集和分析測試數據。
6. **兼容性**:探針臺可以處理多種尺寸和形狀的樣品,包括晶圓、芯片和其他微電子器件。
7. **環境監控**:一些探針臺具有氣候控制系統,可以在潔凈室或受控環境中進行測試,確保測試結果的可靠性。
這些特點使得探針臺在半導體開發、質量控制和研究等領域中扮演著重要角色。

探針臺卡盤(Probing Station Chuck)在半導體測試和研究中具有重要功能。它的主要功能包括:
1. **樣品固定**:探針臺卡盤能夠穩固地固定待測試的半導體芯片或其他樣本,確保在測試過程中樣品不發生移動。
2. **定位**:通過高精度的微調機制,卡盤可以實現樣品的定位,以便于探針與樣品上的特定點進行接觸。
3. **溫度控制**:一些的探針臺卡盤配備了溫度控制功能,可以在不同的溫度條件下進行測試,以研究溫度對電性能的影響。
4. **電氣連接**:卡盤通常與探針陣列一起工作,通過探針與樣品接觸,實現電氣信號的傳輸,允許測試電性能參數。
5. **兼容性**:探針臺卡盤設計通常具有良好的兼容性,可以與不同類型和尺寸的樣本以及探針頭配合使用。
6. **環境控制**:一些探針臺卡盤具備氣氛控制功能,可以在特定氣氛(如氮氣或真空環境)中進行測試,以降低氧化和其他環境影響。
總的來說,探針臺卡盤在半導體研發和制造過程中扮演著至關重要的角色,它不僅提高了測試的性,還為研究提供了的實驗條件。
高低溫真空探針臺是一種專門用于材料和器件測試的設備,廣泛應用于以下領域:
1. **半導體研究**:用于測試半導體材料、器件(如晶體管、二極管等)的電性能和熱性能,尤其是在極端溫度條件下的表現。
2. **納米材料**:適合對納米材料進行電學性能測試,研究其在不同溫度和真空條件下的特性。
3. **物理學和材料科學研究**:可用于基本物理實驗,如測量材料的電導率、熱導率等,以及研究材料在高低溫下的相變行為。
4. **太陽能電池**:用于太陽能電池材料的測試,以評估其在不同溫度和環境條件下的效率和穩定性。
5. **傳感器及MEMS器件**:對傳感器和微機電系統(MEMS)的性能進行評估,確保其在實際應用中的可靠性。
6. **實驗室研發**:研究人員在新材料開發過程中,可以使用探針臺進行電學和熱學測試。
總之,高低溫真空探針臺適用于多種需要在高低溫及真空條件下進行測試的高科技領域。
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